準力JL-D18雙面拋光／研磨機 異軍突起

準力JL-D18雙面拋光機/雙面研磨機。圖／業者提供

準力機械股份有限公司，工具機首家跨入半導體研磨領域，研發新型JL-D18雙面拋光機（double sided polishing），可用於半導體晶圓加工，產品加工後的表面精度可小於1um，在半導體晶圓研磨機拋光機中再度突破，更是工具機業異軍突起。另外，根據客戶材料與加工需求，同樣機構搭配不同材質與結構亦具備雙面研磨（double sided lapping）。

準力公司董事長林馨堂表示，新產品JL-D18雙面拋光機／雙面研磨機，適用於工件需要雙面同時加工，且又特別適於易翹曲之材料加工，機器可同時精密加工多片工件。拋光／研磨後之工件具有優異的平面度、平行度與低翹曲特性。機構採取行星式運轉設計，表面達到無機械紋路之效果（鏡面或霧面），PLC控制器可搭配類人機介面、提供使用者簡單的操作方式，準力提供客製化程式撰寫與維護。

新產品JL-D18雙面拋光機／雙面研磨機，具備自動／簡易供漿系統，粗細拋光／研磨液可自動／手動切換，並可搭配線上自動厚度偵測（根據工件厚度與材質設計安裝厚度偵測儀），自動工件取放系統，可客製化工件取片與放片。爲減少顧客清洗盤面時間，也可搭配自動清洗盤面與保溼，上下冷卻盤可強化加工時工件平面度，準力應用豐富研磨經驗，可針對客戶拋光需求搭配不同材質拋光墊／研磨盤、拋光研磨液與加工參數，讓客戶更快將產品導入製程。

新產品JL-D18雙面拋光機／雙面研磨機，適合拋光與研磨工件種類，包括：非金屬：矽晶圓、碳化矽晶圓、石英玻璃、藍寶石、氮化鋁、砷化鎵、鑽石晶圓；金屬：氧化鋁、銅、不鏽鋼、碳化鋼、十字鋼等。網址：www.joenlih.com.tw。