準力晶圓單面拋光機 精確快速

準力高精密JL-S12單面拋光機晶圓拋光機。圖／準力提供

準力機械在工具機平面磨牀領域將近40年，近年來投入晶圓研磨與拋光機，響應政府推動半導體設備自制，暨晶圓減薄研磨機與雙面拋光機，再推出更精密的單面拋光機JL-S12，其設計主要功能：S12屬於單頭拋光之單磨頭設計，其製程控制系統，用以確保晶圓表面的均勻拋光，對維持晶圓各層的完整性至關重要。

JL-S12屬於單頭拋光機器，配備拋光墊調節系統，可長期保持拋光墊的有效性，確保結果一致，系統可以精細控制拋光過程中施加的壓力，這對於實現所需的材料去除率和表面鏡面度至關重要，機器也含有清潔模組用於清除晶圓表面的任何殘留漿料或碎片，拋光時避免刮傷，漿料輸送系統，可在拋光過程中精確控制漿料的量和分佈。JL-S12屬於單頭拋光機配方管理，它提供儲存和管理多個配方的能力，允許在不同拋光製程之間快速切換，即時監控包括拋光壓力、墊磨損、漿料流量等參數的即時監控系統，實現對拋光過程的嚴格控制。

JL-S12適用產品：單晶矽／多晶矽、STI淺溝槽、鎢拋光、銅鑲嵌（WLP和MEMS）、光學玻璃、石英、硬脆材料、金屬類銅、鋁等拋光等。9月4日在SEMICON TAIWAN國際半導體展南港一館展出（攤位：J2456），網址：www.joenlih.com。