微導納米申請一種真空鍍膜設備及其控制方法專利，有利於提高所形成薄膜的性能

金融界 2024 年 7 月 19 日消息，天眼查知識產權信息顯示，江蘇微導納米科技股份有限公司申請一項名爲“一種真空鍍膜設備及其控制方法“，公開號 CN202410705021.7，申請日期爲 2024 年 5 月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種真空鍍膜設備及其控制方法，真空鍍膜設備包括基片臺、頂針和封孔件，基片臺位於真空腔室內用於放置基片，基片臺設置有多個過孔，頂針與過孔對應設置，頂針可升降運動，且頂針可穿過過孔以承託基片，封孔件活動連接於基片臺或頂針，封孔件在活動中能夠打開或關閉過孔，且封孔件的活動與頂針的升降運動相聯動。本發明的真空鍍膜設備通過結構上的改進，優化了工藝開發過程中頂針位置處的工藝表現，有利於提高所形成的薄膜的性能。

本文源自：金融界

作者：情報員