濰坊歌爾微電子取得MEMS芯片和傳感器專利，提高MEMS芯片環境適應能力

金融界2024年12月27日消息，國家知識產權局信息顯示，濰坊歌爾微電子有限公司取得一項名爲“MEMS芯片和傳感器”的專利，授權公告號CN 222204806 U，申請日期爲2024年2月。

專利摘要顯示，本實用新型涉及一種MEMS芯片和傳感器。所述MEMS芯片，包括：振膜、背極板、襯底和納米纖維件；所述背極板和所述振膜依次固定在所述襯底的同一側，且所述振膜與所述背極板之間具有第一振動空間，所述振膜朝向所述襯底的一側具有第二振動空間，所述第一振動空間與所述第二振動空間相對；所述納米纖維件由納米纖維製成，所述振膜上在朝向所述第二振動空間的一側覆蓋設置有第一納米纖維件，所述背極板在遠離於所述第一振動空間的一側覆蓋設置有第二納米纖維件。本實用新型提供的MEMS芯片的背極板和振膜的外側均設置有納米纖維件，使得外部的異物難以進入MEMS芯片內部，提高了MEMS芯片的環境適應能力。

本文源自：金融界

作者：情報員