大陸推進EUV還需10年　ASML CEO：禁令有效果

艾司摩爾執行長 Christophe Fouquet近日受訪時提到，大陸晶片製造商要進入EUV時代還需要10至15年。（圖／美聯社）

半導體設備龍頭艾司摩爾執行長 Christophe Fouquet近日受訪時提到，目前大陸主要的晶片生產商雖然取得不錯的進展，但是在EUV設備禁令下，與西方國家仍有10至15年的差距。

Christophe Fouquet指出，雖然目前大陸的中芯國際利用DUV可以生產7奈米晶片，但是成本、良率仍然沒辦法與臺積電相比，如果要開發EUV相關設備至少還需要10至15年的時間。

過去艾司摩爾與合作伙伴建立EUV的生態系花費超過20年的時間，雖然大陸不需要從頭開發所有的東西，但是當大陸進展到Low-NA EUV 設備時，西方國家已經有High-NA EUV技術、甚至已經開發出Hyper-NA EUV設備。

目前華府針對艾司摩爾提出禁止協助大陸公司維修、維護DUV設備的禁令，但仍未被荷蘭政府同意，主要是艾司摩爾希望維持對大陸DUV設備的控制權，否則讓大陸公司接手後，許多機密資訊將會外泄。