逼ASML斷供EUV機臺恐釀錯 外媒警告美重擊陸晶片業下場
半導體設備大廠荷蘭商艾司摩爾（ASML）獨家供應的極紫外光(EUV)微影設備，成爲全球晶圓代工大廠跨入先進製程技術的關鍵設備，但隨着大陸晶圓代工龍頭中芯國際遭美製裁，導致EUV機臺無法進口至大陸，讓大陸先進製程技術發展受制。外媒指出，若完全阻斷大陸獲得EUV機臺的可能性，將嚴重打擊大陸半導體產業發展。
據紐約時報報導，川普政府在2019年成功遊說荷蘭政府阻止向陸企出售該設備，沒有任何跡象表明拜登政府會改變立場。喬治城大學安全與新興技術中心(Center for Security and Emerging Technology)研究分析師Will Hunt表示，該機構判斷大陸至少要10年才能自主製造類似的設備，從大陸角度來看，這是非常煩人的問題。
ASML耗費多年纔開發出EUV機臺，並在2017年量產，售價超過1.5億美元，機臺運送需要使用20個貨櫃、20輛卡車與3架波音747飛機。ASML生產機臺的供應鏈來自日本、美國以及德國的專門零組件與技術，這也足見半導體供應鏈全球化必須面對的現實。
美國如今想砸超過500億美元發展本土半導體供應鏈，減少依賴臺灣等地的先進製程晶片，降低臺海發生戰爭所帶來的供應鏈斷鏈風險。
波士頓諮詢集團（BCG）和半導體產業協會（SIA）在今年春季估計，建立本土半導體供應鏈至少要1兆美元，並使得晶片售價飆高。哈佛大學商學院管理學教授Willy Shih表示，ASML技術「極好地說明了爲什麼我們需要全球貿易」。
中芯國際2018年跟ASML訂購EUV機臺，但卻在2019年遭到川普政府出手阻撓，導致中芯國際無法取得至關先進製程發展的EUV機臺。當時ASML迴應，是爲了遵守《瓦聖納協議》，須等待荷蘭政府審覈出口許可，才能出貨中芯國際。
雖然失去這筆訂單對於ASML影響不大，2017年起推出EUV機臺，目前客戶已經購買約100臺，包括全球晶圓代工臺積電、南韓科技大廠三星電子等客戶，但其中有15%營收來自出售給大陸的舊型機臺。
美國國家人工智慧安全委員會(National Security Commission on Artificial Intelligence)今年3月提交給國會與拜登的最終報告提議，對大陸出口管制擴大至ASML的設備，意在限制大陸AI在軍事應用的發展。不過，也有專家認爲，阻止銷售管道會傷到ASML，也不會爲美國帶來戰略利益，希望拜登政府的理性可以獲勝。
中芯國際今年3月宣佈，將與ASML簽訂12億美元的訂單，主要用來採購深紫外光(DUV)微影設備，期限到今年底，臺積電在7奈米制程發展初期，也採用該設備製造晶片，這也成爲中芯國際發展先進製程的救命手段之一。此外，大陸半導體生產設備中微半導體曾在2019年推出自主研發的 5奈米刻蝕機，並通過臺積電驗證，但在華爲及中芯國際遭美國禁令影響下，中微半導體也暫停開發計劃，甚至遭列美國禁止投資對象清單，但在大陸半導體自主化進程推進下，這也是中芯國際爲數不多的選項之一。