《半導體》臺積電導入低耗能管路加熱系統 未來年省8000萬度電

臺積電(2330)持續優化製程能源使用效率。民國109年，領先業界將「低耗能管路加熱系統」導入先進製程，透過高效熱絕緣體減少熱散失，成功的使機臺加熱管減少約25%能耗。目前已導入晶圓十五廠第7期廠區，預計將於民國114年進一步導入臺灣全數12吋晶圓廠區及晶圓十八B廠的3奈米與2奈米制程，每年預計將節省8000萬度電。

供應晶圓生產機臺的氣體管路，以往爲避免管線內部形成結晶、造成堵塞，必須在機臺運作期間，對管路外部的加熱設備不斷供電以維持管路表面高溫，確保管線通暢。傳統套件僅着重於管線的加熱功能，忽略表面材質的保溫表現，導致熱能易失而造成電力浪費。

由臺積公司節能減碳委員會引領的節能團隊，攜手供應商利用「降低熱損失」的概念，運用以往主要應用於建築物隔熱的氣凝膠材質，取代玻璃纖維做爲供氣管路外層。臺積公司成功領先業界開發第一套「低耗能管路加熱系統」，民國109年3月於晶圓十五廠第7期優先試行，有效降低管路表面溫度、減少25%能耗。

低耗能管路加熱系統除通過臺積公司廠務處與晶圓十五A廠的品質與節能驗證，亦已獲得SGS第三方驗證機構針對耐熱溫度、延展性等安全認證。此係統已由廠務處新廠設計部列爲新建廠區的標準設施，將於民國110年導入晶圓十八B廠3奈米及2奈米制程；既有的國內十二吋晶圓廠區則預計於民國114年前完成系統更新，屆時每年將額外減省8,000萬度電，持續追求機臺節能最大化。