浙江求是創芯取得混氣接頭相關專利，提高混合氣體混合均勻性

金融界2024年11月1日消息，國家知識產權局信息顯示，浙江求是創芯半導體設備有限公司取得一項名爲“混氣接頭、進氣裝置及半導體加工設備”的專利，授權公告號 CN 221897355 U，申請日期爲 2024 年 3 月。

專利摘要顯示，本實用新型屬於半導體加工技術領域，公開了混氣接頭、進氣裝置及半導體加工設備，混氣接頭用於連接第一進氣管和第二進氣管，混氣接頭開設有混氣腔和連通混氣腔的第一進氣口、第二進氣口和出氣口，混氣接頭可拆卸連接於第一進氣管和第二進氣管，第一進氣管連通第一進氣口，且第一進氣口和混氣腔的軸向夾角小於 90°，第二進氣管連通第二進氣口，混氣接頭的內部設置有進氣通道且內壁開設有連通混氣腔的多個混氣孔，多個混氣孔繞混氣腔的軸向間隔分佈，第二進氣口經由進氣通道連通多個混氣孔。本實用新型的混氣接頭能夠由側壁上環狀設置的多個混氣孔提高混合氣體的混合均勻性，減小進氣裝置佔用的空間體積，提升半導體加工設備對晶圓表面刻蝕均勻性。

本文源自：金融界

作者：情報員