廣東先導元創申請等離子源以及等離子體設備專利，實現工藝氣體產生等離子體

金融界2024年12月13日消息，國家知識產權局信息顯示，廣東先導元創精密科技有限公司申請一項名爲“等離子源以及等離子體設備”的專利，公開號 CN 119110475 A，申請日期爲2024年8月。

專利摘要顯示，提供一種等離子源以及等離子體設備。等離子源包括上蓋、絕緣殼體、絕緣介質柱體、電容電極片以及電感線圈。上蓋密封固定在絕緣殼體上，上蓋具有進氣道；絕緣殼體具有中空腔；絕緣介質柱體佔據中空腔的靠近上蓋的位置以使中空腔的位於絕緣介質柱體背離上蓋的部分爲整體腔部，絕緣介質柱體具有多個通孔，各通孔連通於進氣道和整體腔部；電容電極片設置於絕緣介質柱體以在各通孔處形成電容，所述電容用於使經由進氣道進入的工藝氣體在各通孔處形成的電容中產生電容耦合等離子體、電容耦合等離子體排出到整體腔部；電感線圈對應整體腔部、用於使從排出到整體腔部中的電容耦合等離子體電感耦合。等離子體設備包括工藝腔體以及前述的多個等離子源。

本文源自：金融界

作者：情報員