瞄準半導體材料及設備 經部力推自主生態鏈

舉例來說，透過「A世代─半導體設備整機驗證計劃」推動設備在地化。2021年覈定通過13案次，包含漢辰、天虹、弘塑、億力鑫等業者開發前段晶圓製程之離子布植、物理氣相沉積設備及後段先進封裝製程之物理氣相沉積、塗布顯影等設備，協助導入至半導體國際指標終端業者（臺積電、日月光等）驗證，建立我國半導體設備自主技術能力。

半導體材料部分，經濟部表示，2021年迄今已有三菱瓦斯、昭和電工、三井化學、英特格、德山、默克等在臺投資，其中默克五至七年內預計投資170億元在高雄擴產，並打造全球首座「大型半導體材料生產暨研發中心」，強化臺灣半導體產業競爭力。

經濟部表示，藉由A世代計劃補助新應材、達興材料、長興材料、環球晶圓、華新科技、宇川精密、臺灣永光等七家業者開發半導體關鍵材料，但目前尚在進行下游業者之公開（β-site）測試驗證中，藉此培植國內廠商之關鍵材料自主技術。