FEI 公司申請檢測探針着陸專利，用於集成電路測試系統中檢測探針着陸

金融界 2024 年 12 月 18 日消息，國家知識產權局信息顯示，FEI 公司申請一項名爲“用於在集成電路測試系統中檢測探針着陸的技術”的專利，公開號 CN 119125834 A，申請日期爲 2024 年 6 月。

專利摘要顯示，用於在集成電路測試系統中檢測探針着陸的技術。用於檢測探針尖端與樣本表面之間的接觸的系統、方法和技術。一種方法可以包括使用具有抖動頻率的週期性運動在與表面基本平行的平面中抖動探針。該方法可以包括朝向探針的區域引導帶電粒子束。該方法可以包括至少部分地基於帶電粒子束與探針的區域之間的相互作用來生成描述探針的週期性運動的檢測器數據。該方法可以包括使探針朝向表面移位。該方法還可以包括使用檢測器數據來檢測探針與表面之間的接觸。

本文源自：金融界

作者：情報員