東方晶源微（北京）取得旋轉臂及半導體檢測設備專利，補償因多種因素引起的誤差確保工具處於合適作業位置

金融界 2024 年 9 月 17 日消息，天眼查知識產權信息顯示，東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司取得一項名爲“旋轉臂及半導體檢測設備“，授權公告號 CN221723957U，申請日期爲 2024 年 2 月。

專利摘要顯示，本申請屬於半導體制造技術領域，尤其是涉及一種旋轉臂及半導體檢測設備。該旋轉臂包括旋轉結構、調節結構及套筒結構；旋轉結構穿設於套筒結構並用於連接工具，旋轉結構能夠帶動工具轉動；調節結構環繞旋轉結構佈置並設置於套筒結構遠離工具的一側，調節結構用於多方向調節旋轉結構的位置以帶動工具改變位置。其中，調節結構具備多個方向上的調節自由度，以微調旋轉結構的位置，進而補償因機械結構、裝配條件等因素引起的誤差，確保工具處於合適的作業位置。

本文源自：金融界

作者：情報員