成都中科唯實申請種低粒子真空蝶閥專利，避免閥芯與閥體金屬接觸減少粒子產生

金融界2024年11月2日消息，國家知識產權局信息顯示，成都中科唯實儀器有限責任公司申請一項名爲“種低粒子真空蝶閥”的專利，公開號 CN 118881747 A，申請日期爲 2024 年 9 月。

專利摘要顯示，本發明涉及一種低粒子真空蝶閥，包括氣缸組件、閥芯組件及閥體。該蝶閥通過特殊設計的氣缸組件與閥芯組件間的連接杆及滑動軌道機制，在開、關閥過程中避免閥芯與閥體金屬接觸，減少粒子產生，提高系統可靠性。氣缸組件內的活塞軸套上設有兩段滑動軌道，分別驅動連接杆繞不同點旋轉，實現閥芯精確控制。閥芯組件採用耐磨材料支撐環，確保密封同時避免金屬摩擦。此外，閥門設計具有自鎖功能，提高安全性。本發明的低粒子真空蝶閥特別適用於薄膜鍍層、質譜分析等對真空環境要求嚴苛的領域。

本文源自：金融界

作者：情報員