部分高階DUV出口許可證吊銷！ASML：少數中國客戶受影響

雖然ASML的DUV光刻機出口許可證突然遭到撤銷，但是中國客戶訂單基本都已完成交付。（圖／ASML）

針對媒體報導光刻機大廠ASML部份高階DUV光刻機出口許可證在12月31日到期前被吊銷一事，ASML發表聲明稱，部份NXT:2050i和NXT:2100i許可證被吊銷影響到少數中國客戶。2024年1月1日起，ASML已不太可能再獲得向中國國內客戶運送這些系統的出口許可證。

據《快科技》報導，外媒引述知情人士稱，在相關許可證到期之前幾周，荷蘭政府就應美國政府的要求，吊銷了部分高階DUV光刻機的對華出口許可證。

ASML發聲明表示，「在最近與美國政府的討論中，ASML獲得了美國出口管制法規的範圍和影響的進一步明確。美國最新出口規則（2023年10月17日發佈）對有限數量的先進生產設施的某些關鍵的浸潤式DUV光刻系統施加了限制。」

ASML強調，「我們完全致力於遵守所有適用的法律和法規，包括我們經營所在國家的出口管制立法。」

報導指出，2023年9月1日，荷蘭政府在6月底頒佈的有關先進半導體設備的額外出口管制新條例正式生效，其中包括先進的沉積設備和浸潤式光刻系統。ASML公司當時就曾表示，儘管出口限制從9月開始生效，但該公司現有的許可證仍能夠允許其在2023年底前繼續將NXT:2000i 和更先進的DUV光刻機運送到中國。

需要釐清的是，報導說，ASML在2023年四季度出貨的設備，多數在2022年底或2023年初就已取得了許可。ASML在2023年中的交貨週期大約18個月，意味着2023年第四季出貨的設備，應該是在2022年2季度或3季度就已經下了訂單。

2024年10月17日，美國商務部工業與安全局（BIS）又發佈多項規則，更新並擴大了2022年10月7日發佈的對先進半導體及其製造設備實施的一系列嚴格的出口管制措施等。ASML表示，「我們的客戶瞭解出口管制法規，因此他們知道，自 2024 年 1 月 1 日起，我們不太可能獲得向中國國內客戶運送這些系統的出口許可證。」

報導說，隨着荷蘭政府部分吊銷了2023年發貨NXT:2050i和NXT:2100i光刻系統的許可證，這也意味着ASML在數週之前就已經無法繼續向中國客戶交付此前尚未完成交付的相關高階DUV光刻機訂單。

不過ASML仍在聲明中表示，目前出口許可證的撤銷或美國最新的出口管制限制不會對其2023年的財務前景產生重大影響。